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通過蒸發過程將陰材料蒸發是源于高電流密度,得到蒸發物由電子、離子、中心氣相原子微粒組成.在陰電弧點,材料幾乎被離化,這里離子在幾乎垂直于陰表面的方向發射,當帶有高能量的鉻離子碰到氮氣后便會產生化學反應,變成氣態氮化鉻分子.